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oes-spectrum-translator
OES全光谱拆解转译工具:将OES光谱原始数据(.tdms或机台CSV)自动转换为机台格式CSV,按强度台阶切分为工艺段,映射为19个实际recipe工艺名,并与五炉基准进行比对报警,导出包含RAWDATA及19个工艺段的Excel文件。触发功能包括:tdms拆分、光谱分段、工艺段切割、分段Excel生成、OES数据转CSV。
模型生成摘要(rules/v1 · 2026-11-13 13:18):OES全光谱拆解转译工具:将OES光谱原始数据(
这是模型对公开材料的总结,不是官方声明,请以原链内容为准。
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存档时间线
| 版本 | 存档时间 | 内容哈希 | 内容 |
|---|---|---|---|
| v1 | 2026-11-13 13:17 | 58842bfe | 可取 |
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